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測(cè)試服務(wù)

測(cè)試服務(wù)

Testing service

薄膜厚度測(cè)試

應(yīng)用:
–可以測(cè)量最大5層重疊薄膜的厚度和折射率。
–可測(cè)量如氧化物，氮化物，光阻，導(dǎo)電玻璃，聚合物和半導(dǎo)體薄膜等透明或半透明薄膜。
主要技術(shù)指標(biāo)參數(shù):
–對(duì)特定的介電質(zhì)測(cè)量厚度范圍20納米到150微米。
–對(duì)特定的材料厚道測(cè)量精度小于厚度的百分之一。
–測(cè)量波長(zhǎng)范圍350納米到1450納米。
–自動(dòng)測(cè)量點(diǎn)定位的功能，電機(jī)驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)最大可滿足直徑200毫米樣品使用。
–有完備的光學(xué)參數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)可供調(diào)用。

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