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專注微納加工

蘇州硅時代電子科技有限公司

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MEMS加工

為成就您的產(chǎn)品，而努力

Work hard to make your product

特殊工藝

硅、玻璃表面微加工技術(shù)

微結(jié)構(gòu)薄膜材料：二氧化硅、氮化硅、多晶硅；金屬薄膜：Al、Au、MO、W、Pt等。
表面微加工犧牲層工藝

常用犧牲層選擇有：PI、SiO2、Si、Cu等。
體硅加工技術(shù)

可利用刻蝕等工藝對塊硅進(jìn)行準(zhǔn)三維結(jié)構(gòu)的微加工，以形成所需要的硅微結(jié)構(gòu)。
通孔制作技術(shù)

硅通孔技術(shù)（TSV）、玻璃通孔技術(shù)（TGV）

案例展示

RF MEMS Beam Solution TSV（Cu&Sn鍵合）Process TGV Solution

晶圓切割| 陶瓷管殼封裝| sop8封裝| 掩膜版

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