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2020-03-14
LIGA與準LIGA技術(shù) 1986年德國W.Ehrfeld教授首先開發(fā)了進行三維微細加工最有前途的方法——LIGA技術(shù)。 ——LI，Lithographier，即深度X射...
2020-03-13
MEMS研究的歷史 MEMS技術(shù)被譽為21世紀帶有革命性的高新技術(shù)，它的誕生和發(fā)展是“需求牽引”和“技術(shù)推動”的綜合結(jié)果。 隨著人類社會全...
2020-02-21
SLIGA技術(shù)是H.Guckle教授等人結(jié)合硅面加工技術(shù)和常規(guī)LIGA技術(shù)而開發(fā)出的一種新工藝。在這個工藝中，犧牲層用于加工...
2020-02-21
MEMS即Micro-Electro-Mechanical System，它是以微電子、微機械及材料科學(xué)為基礎(chǔ)，研究、設(shè)計、制造、具有特定功能的微型裝置，包括微結(jié)構(gòu)器...
2020-02-21
MEMS技術(shù)被譽為21世紀帶有革命性的高新技術(shù)，它的誕生和發(fā)展是“需求牽引”和“技術(shù)推動”的綜合結(jié)果。 隨著人類社會全面向信息化邁進，信息系統(tǒng)的...
2020-02-21
我國MEMS的研究始于二十世紀八十年代末。經(jīng)過十多年的發(fā)展，我國在多種微型傳感器、微型執(zhí)行器和若干微系統(tǒng)樣機等方面已有一定的基礎(chǔ)和技術(shù)儲備，...
